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第四代光刻机应该是个什么样子？应该具备那些参数？这些东西，此时都已经装在了赵烨的脑子里。
首先，光刻机，顾名思义，要有光。
光是激光，而能用于工业生产上的激光，也就是那么几个波段。目前来讲，赵烨他的应用的还是跟二十年前的一样的高压汞灯。
只不过这种灯也更新换代好几次了，提供的激光波长如今已经到了436nm。光源的波长，直接影响着芯片工艺的制程。
简单理解，这个波长就好比凿子的宽度，你想用一厘米宽的凿子，凋刻半厘米宽的线。这几乎是不可能的。
这里用几乎，当然就有特殊情况了。就比如赵烨他们搞得浸入式技术。在晶圆表层注入一毫米纯净水，利用水对光的折射，进而改变激光的波长。
这个技术，目前还是国内光刻机行业的绝密，所有接触和知道这项技术的人，不客气的讲，都在保密部门的监督下生活着，只不过他们自己不知道或者装作不知道而已。
说这些，是因为赵烨想要提高制程工艺，第一步要解决的就是光源的问题。
高压汞灯还能在进步几个波次，这项技术，还没有到达他的极限。
对于没有嚼干净味道的口香糖，赵烨是不会轻易吐掉的。所以第一个任务，就是攻克高压汞灯的极限。把436nm和365nm波长的激光，做到工业生产的级别。
有了波长436nm的光刻光源，赵烨就能把利华当前的制程工艺提升到800-1200nm之间。使得利华高端芯片的制程，全面进入纳米级别。
他的第二波次，是把制程进步到350-500nm。相应地要用到更短的波长，即365nm的光源。
而刚好436nm和365nm分别是高压汞灯中能量最高、波长最短的两个谱线。如此一来，不但能更高效的进行工业化生产，还能大大提高芯片的性能。
赵烨计划用这两个波次的高端芯片，直接冲击目前的芯片市场。只要两个波次的时间把握好了，赵烨有信心，就这么一下，市场上的光刻机生产商，最少得倒下一多半儿。
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